产品说明

1.采用先进清洗工艺，适用于6英寸、8英寸、12英寸晶圆清洗。

2.采用人机界面、PLC控制系统。

3.采用中高频超声波清洗、兆声波清洗。

4.采用先进的红外干燥系统。

5.设有良好的抽排风系统，周围环境良好。

6.设计理念先进，设备节能环保，节水省电，全封闭设计，外形美观整洁。